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大功率特种专用紫外光源是其中的关键技术，其波长已延伸到真空紫外波段.我公司经几年攻关已完成多项专利技术，如：真空紫外光谱仪，大功率热、冷阴极光清洗机专用光源，清洗效果测试设备等。
我公司的光清洗机系列产品，主要创新点是：宽温区恒照度、大功率紫外光源、优化气氛控制的自控系统、自动化程度高、自净化设计等。具有，工作稳定，利用光子作用实现了对污染物的分解、氧化、气化，并被排除.
本产品除用于液晶生产中需清洗的各道工序外，还有十分广泛的领域如：ITO玻璃、光学玻璃、铬板、掩膜板、抛光石英晶体、硅晶片和带有氧化膜的金属等进行精密清洗处理，在液晶显示器件、半导体硅晶片、集成电路、高精度印制电路板、光学器件、石英晶体、密封技术、带氧化膜的金属材料等领域。
在线式紫外辐射光清洗机